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隨著半導體、集成電路的發(fā)展，特別是大規(guī)模集成電路發(fā)展到超大規(guī)模集成電路階段，電路線寬已小于1um以下，對生產過程中所使用的純水水質更加嚴格（表1），水質主要指標是電阻率、微粒、細菌和總有機碳（TOC）的要求。




  面對如此嚴格的水質要求，人們首先把注意力放在采用先進的純水制造工藝和設備并輔以嚴格的管理上面，這是非常自然的，但往往忽視了另一重要因素，那就是純水管道設計和管材選擇問題。
  眾所周知，大部分工廠的純水系統(tǒng)都包括中央純水制取系統(tǒng)和純水輸送和分配系統(tǒng)（圖1），也就是說中央純水制造系統(tǒng)（即純水站）制出的合格的純水必須經過純水輸送和分配系統(tǒng)才能送到純水用戶的使用點，而這些純水管道系統(tǒng)的管道長度，常常是上百米，甚至上千米，由于使用點的分散分配管路也是錯綜復雜的，作為純水工作者的任務絕不僅關心在中央純水站制出合格的純水來，而且要關心純水輸送和分配系統(tǒng)，最終保證幾十個、幾百個使用點的水質要求。



  本文僅就純水管道的分配方式、管道選擇等問題談一些粗淺看法，以期引起對此問題的重視。
 
純水管道系統(tǒng)設計
  純水輸送和分配管道系統(tǒng)是整個系統(tǒng)的重要組成部分，管道系統(tǒng)擔負將中央純水站制出的高質量的純水以盡量小的水質降低輸入給每一個使用地點，如果管道系統(tǒng)設計不當，就會使純水水質大大下降，甚至把處理系統(tǒng)話費的功夫全部付諸東流。由于水的純度很高極易受到污染，使用點分散而無規(guī)律，變化幅度大，使得解決這一問題帶來相當大的難度。
  首先，應保證純水管道內的流速，即在管道系統(tǒng)壓力損失允許情況下管內流速盡量大，以防管內細菌繁殖、微粒沉積，盡量減小管道溶出物對純水水質的污染，管道流速一般按下列數(shù)據(jù)選擇：
干管流速  1.5～3m/s
支管流速  1～2m/s
接設備支管流速  0.5～1m/s
  其次，在設計純水管道系統(tǒng)時要解決好防止產生滯水段（俗稱“死水”）和“短路”這兩大難題。
  解決好著兩大難題的關鍵是正確的設計純水循環(huán)管道系統(tǒng)，純水循環(huán)管道不同于一般樹枝式管道系統(tǒng)，它不但應有純水給水管而且還有純水回水管，在運行上，無論純水使用水多少，都能保證管道內純水處于流動狀態(tài)，真正做到“流水不腐”。
  為了即保證純水管內流速又使純水回水管中有一定流速純水系統(tǒng)的供水量應該由兩部分組成，即：
  純水系統(tǒng)供水量=設計用水量+循環(huán)水量
  其中循環(huán)水量應為設計用水量的30～50%
 
純水循環(huán)管道的布置方法有以下幾種：
1、單管式（圖2）
  這是一種最簡單的純水循環(huán)管道系統(tǒng)，純水給水管以同一管徑或縮小一號管徑返回至精處理系統(tǒng)的循環(huán)水箱，為保證管道系統(tǒng)工作壓力，在接入循環(huán)水箱前需加設壓力調節(jié)閥，接至生產設備的純水支管應盡量短，有人認為其長度小于4倍支管直徑，當然這一點往往難有實現(xiàn)。

在運行中，不管有無用戶使用純水，循環(huán)管道都處于流動狀態(tài)，很明顯在這種管道系統(tǒng)中干管是不會有“死水”和“短路”問題的。

這種布置的缺點是：

（1）如果供水區(qū)域較大，用水點較多時，會造成循環(huán)管道過長，當必須保證較高管內流速時，管道水頭損失較大，致使動力消耗大，管道初端與末端供水壓差較大。

（2）當出現(xiàn)某一管段滲漏或受到污染時，無法把有問題的管段切開，而必須停止整個系統(tǒng)工作才能檢修。

因此，此布置方法僅限于較小的供水區(qū)域，大約15～20個用水點，循環(huán)管道管徑不宜超過DN50。

 

2、有單獨給水喝回水管的純水循環(huán)管道系統(tǒng)

這種布置方法設有單獨的純水給水干管和單獨的回水干管，從純水給水干管中接出的支管，以類似于上述單管式通過若干個用水設備，回至純水回水干管?；厮晒茏詈蠼又辆幚硐到y(tǒng)的循環(huán)水箱。由于這種布置方式可以有若干個循環(huán)支管，整個系統(tǒng)則可以供給幾十甚至上百個用水點用水，每個循環(huán)支管在接入回水干管前也應裝設壓力調節(jié)閥。

圖3是一種給水干管與回水干管為反向流的布置方式，其特點是給水干管商的第一個支管是回水干管中的最后一個接入點。很明顯，由于給水干管上第一個支管水壓比其他支管高，回流路程又短，因此非常容易造成“短路”，相反其它支管就會造成“死水”，顯然這不是一個理想的布置。

解決的辦法應該按圖4方式布置，即純水給水干管與回水干管同向流的布置，其特點是由給水干管接出的第一個支管也是回水干管上的第一個接入管，依次給水支管接入順序與回水干管的接出次序是一致的。因此每一條流水路線都經歷大致一樣的長度，使“短路”和“死水”的可能性大大減少了，因此這是一種比較理想的布置方式。



  當進行多層工業(yè)廠房設計時，由于頂層與底層高差較大，會產生底層水水壓過高，回流快而形成底層“短路”、頂層“死水”現(xiàn)象。這時應在每層的支管商加設“流量控制閥”（如圖5所示）。流量控制閥的特點是當壓力在一定范圍內變化時，通過閥的流量基本不變。例如：PLAST-O-MATIC公司生產的FC系列流量控制閥，當水壓從0.1MPa到0.85MPa之間變化時其流量的變化小于15%。

純水管道選擇
1、管道對純水水質的污染
  管材選擇對于超純水系統(tǒng)是至關重要的，因管道原因造成純水水質下降主要來源于以下幾個方面：
  （1）因管道材料中的不純物質溶解于超純水中致使水中陽、陰離子增加，電阻率下降以及TOC的增加。
  （2）因管道內壁不光滑及接頭、閥門等原因造成細菌滯留繁殖及其他顆粒的聚積，致使水中微粒的增加。
  （3）因管道及閥門不嚴密引起控制滲入，造成電阻率下降、溶解氣體及微粒的增加。
  因此在超純水系統(tǒng)應選擇可淬性低、內壁光滑的管道并盡可能減少接頭及管件的凹凸不平。要求管道連接嚴密，嚴格清洗及安裝等工藝，把握住有可能污染超純水水質的所有環(huán)節(jié)。


 

2、常用純水管道材料

在超純水系統(tǒng)中罪常用的是工程塑料管道，如PVC、PP、ABS及PVDF等，當然在某種場合也有采用不銹鋼管道的。

目前尚無完整的對于這些純水管道材料對超純水水質影響的比較材料及可靠的測試數(shù)據(jù)報道。各國有各自的選用習慣。例如美國多采用PVC管，英國多采用ABS管，而歐洲一些國家則常用PP管，而PVDF管大都用于水質要求特別高的純水精處理系統(tǒng)。

 

PVC管

PVC管是超純水中使用最廣泛的管道材料。國際上普遍采用美國SPEARS公司的SCH80PVC管道（SCH80位SCHEDULE NUMBER 80的簡寫，為美國標準管子號，表示管壁厚度系列（耐壓力）的號碼），PVC管采用承插粘結，故對管外徑公差要求較嚴格。 

 

PP管

國內尚無可用于純水的PP管，許多引進項目中采用了國外的PP管。

 

ABS管

ABS管在純水系統(tǒng)亦有一定范圍的使用。但對它的評價各說不一，尚未定論。國內目前在純水系統(tǒng)較為廣泛的使用ABS管。由英國ALGA公司引進的純水系統(tǒng)采用ABS管，國內亦有廠家生產DN15～DN150的ABS管道、閥門及配件因而得到廣泛使用。

 

PVDF管

目前普遍認為PVDF管是性能穩(wěn)定，對純水水質污染更小的材料，主要用于純水精處理系統(tǒng)的管道中。

據(jù)報道目前還沒有能對超純水管道材料的污染性能做出比較的可靠方法，這是因為管道材料溶解到純水中的雜質濃度太低了，使得許多儀器無法分辨出來。有兩種方法尚能相對的對管道材料做一些比較。

（1）浸泡試驗

這是將一定面積的管道材料嚴格清洗后浸泡在超純水中，或將超純水裝入經嚴格清洗的一定長度的管道中，經一定時間的浸泡，測定浸泡前后各種離子和TOC的變化，經計算可得到單位時間內單位面積的管道雜質的釋放量，可以做各種管材的相對比較。

（2）用電子顯微鏡觀測管道內壁

將管道切下后，內壁濺涂后用電子顯微鏡觀測，觀察材料表面的微孔。微孔多易于沉積微粒和細菌，觀測資料證明，PVC管道內壁相當光滑，而PP管內壁有0.3～1um的微孔。